超高精密气体主轴(下称主轴)可作为超精密机械加工数控车床或高精度计量仪器的主轴系统软件。主轴选用专业的汽体负压技术性，切向滚动轴承和双重推力轴承的各工作台面均为负压汽浮面，且通过严谨的转子动平衡，因此完成了非触碰的高精度旋转，具备无震动，低噪声的特性。

因为充气膜对轴系零件加工偏差的均值功效，因此轴系安装后的旋转精度可以高过零件精度。对主轴关键性能指标——主轴切向旋转精度规定做到低于0.1μm。那样高精度的指标值，即使生产加工出来，也无法测量出它的精度，因此给测量产生了很大的艰难。根据两年的探索，科学研究，总算用双重属七和弦法测到了主轴切向旋转精度(0.07μm)。现将测量法详细介绍给阅读者。

1　检验

1.1　检验标准

工作温度：20±1℃　每钟头转变：<0.1℃

空气湿度：30%～60%

被测主轴在恒温室内恒温時间不少于24h;

被测主轴与规范工具的温度差不得超过0.2℃;

被测主轴需安排在减振基本上，周边无强烈震动和冲击性;气路工作压力平稳在0.4±0.02MPaq

1.2　检验用仪器设备和器材

①　TESA电感器测微仪(法国)(屏幕分辨率0.01μm)